VAIS-PB 히어로 이미지

VAIS-PB

active vibration isolation system

for SEM, TEM, FIB


능동형 제진대 (VAIS-PB)

국내 최초로 상용화에 성공한 전자현미경 전용 능동형 제진시스템 입니다.

Specifications

1. 공압지지프레임

공압지지프레임을 적용하여 금속스프링 지지방식의 경쟁사 모델보다 가혹한 충격진동에 훨씬 강인한 특성을 갖습니다.

2. 저주파 진동차단

피드백제어와 함께 피드포워드제어기법이 적용되어 10Hz 이하 저주파 영역의 진동외란에 대한 차단 능력이 우수합니다.

3. 직관적 상태확인

전면패널에 설치된 3개의 LED를 통하여 주변 진동환경과 제품의 고장유무를 직관적으로 확인할 수 있습니다.

4. 자동 높이조절

높이 조절 센서를 통하여 무게중심이 치우친 경우에도 자동으로 수평이 유지됩니다.

5. 원격제어 지원

엔지니어의 방문 없이 제어변수의 조정, 상태진단의 실시간 원격지원이 가능합니다.

구분 Type 1 Type 2
규격 [mm] 900(W) X 1100(L) X 212(H) 1000(W) X 1350(L) X 230(H)
지지프레임 고감쇠 공압스프링
구동력 수직 80N 이상 / 수평 50N 이상
제어주파수 0.5~1000Hz
제어자유도 3축 6자유도
필요공압 0.5MPa 이상
필요전압 AC 90~230V / 50~60Hz

Applications (클릭하면 확대됩니다)

ThermoFisher
Application 1

Helios 5 UC

Application 2

Helios 5 Enclosure

Application 3

Helios PFIB

Application 4

Apreo2S

Application 5

Scios2

Application 6

Verios 5 UC

Hitachi
Application 7

Regulus 8100

Application 8

SU-8600

Application 9

SU-8700

Application 10

SU-9000

Application 11

NX-5000

Zeiss / CIQTEK
Application 12

Sigma 300VP

Application 13

Sigma 300

Application 13

Sigma HD

Application 14

SEM5000X

Application 15

DB550

Application 16

SEM4000Pro

Customise Model
with custom shape

with custom shape

with wide width

with wide width

with breadboard top

with breadboard top

for access floor

for access floor

for high center of gravity

for high center of gravity