ACTIVE VIBRATION CONTROL
능동형
제진시스템
국내 최초로 상용화에 성공한 전자현미경 전용 능동형 제진시스템입니다.
저주파 진동을 능동적으로 감지하고 보정하여 고분해능 전자현미경이 요구하는 안정적인 측정 환경을 제공합니다.
01 / SPECIFICATIONS
핵심 성능 및
제품 사양
1. 공압 지지 프레임
공압 지지 프레임을 적용하여 금속스프링 지지방식의 경쟁사 모델보다 가혹한 충격 진동에 훨씬 강인한 특성을 갖습니다.
2. 저주파 진동차단
피드백 제어와 함께 피드포워드 제어 기법이 적용되어 10 Hz 이하 저주파 영역의 진동 외란에 대한 차단 능력이 우수합니다.
3. 직관적인 상태 확인
전면 패널에 설치된 3개의 LED를 통하여 주변 진동 환경과 제품의 고장 여부를 직관적으로 확인할 수 있습니다.
4. 자동 높이 조절
높이 조절 센서를 통하여 무게 중심이 치우친 경우에도 자동으로 수평이 유지됩니다.
5. 원격제어 지원
엔지니어가 방문하지 않아도 제어 변수 조정과 상태 진단을 실시간으로 원격 지원할 수 있습니다.
| 구분 | Type 1 | Type 2 |
|---|---|---|
| 규격(mm) | 900(W) × 1,100(L) × 212(H) | 1,000(W) × 1,350(L) × 230(H) |
| 지지프레임 | 고감쇠 공압스프링 | |
| 구동력 | 수직 80 N 이상 / 수평 50 N 이상 | |
| 제어주파수 | 0.5~1,000 Hz | |
| 제어자유도 | 3축 6자유도 | |
| 필요공압 | 0.5 MPa 이상 | |
| 필요전압 | AC 90~230 V / 50~60 Hz | |
02 / APPLICATIONS
적용 장비
아카이브
01
ThermoFisher
Helios 5 UC
Helios 5 Enclosure
Helios PFIB
Apreo2S
Scios2
Verios 5 UC
02
Hitachi
Regulus 8100
SU-8600
SU-8700
SU-9000
NX-5000
03
Zeiss / CIQTEK
Sigma 300VP
Sigma 300
Sigma HD
SEM5000X
DB550
SEM4000Pro
04
Custom Models
Custom Shape
Extra-Wide Platform
Breadboard Top
For Raised Access Floors
