극저온 STM은 원자 단위의 표면 특성을 관찰하는 장비로, 미세한 바닥 진동과 구조물의 움직임에도 측정 결과가 영향을 받을 수 있습니다. 태창이엔지는 국내 최초 극저온 STM 무진동실 구축 경험을 바탕으로 장비와 현장 조건에 적합한 시공 방안을 계획합니다.

목적 장비의 하중과 설치 공간, 주변 진동 조건을 함께 검토하여 기초 구조와 진동 격리 방식을 구체화합니다. 시공 과정에서는 구조체의 진동 전달 경로와 설비 간섭 요소를 세심하게 관리해 안정적인 장비 운용 환경을 확보합니다.

나노계측장비와 고분해능 분석장비는 주변 장비의 운전 진동이나 건물 구조를 통해 전달되는 외부 진동에 민감합니다. 현장 조사와 측정 데이터를 바탕으로 진동 발생원과 전달 경로를 파악하고 독립된 무진동 기초의 적용 범위를 검토합니다.

기초의 질량과 강성, 주변 구조물과의 분리 조건을 장비 설치 기준에 맞춰 설계하며 건축·설비 조건도 함께 반영합니다. 시공 후에는 진동 환경을 측정·평가하여 계획한 성능이 현장에서 구현되었는지 확인합니다.

클린룸의 이중 바닥과 경량 구조는 정밀장비가 요구하는 충분한 강성과 안정성을 확보하기 어려울 수 있습니다. 주변 생산장비와 보행, 설비 운전에서 발생하는 진동 외란을 분리하기 위해 장비 전용 독립기초를 계획합니다.

장비 배치와 하중, 클린룸 바닥 높이, 배관·덕트 등 설비 간섭을 종합적으로 검토하여 기초 형상과 시공 순서를 결정합니다. 청정 환경 운영에 미치는 영향을 줄이면서 장비와 구조체가 안정적으로 연결되도록 설계·시공합니다.

독립기초 하부 프레임은 목적 장비의 하중을 안정적으로 지지하고 기초 전체의 성능을 구현하는 핵심 구조입니다. 장비의 자중과 운전 조건, 설치 높이 및 진동 허용 기준을 검토하여 필요한 강성과 구조 형식을 결정합니다.

프레임 제작 정밀도와 앵커 배치, 장비 접합부 및 현장 반입 조건까지 설계 단계에서 함께 고려합니다. 기초 구조와 프레임이 일체로 작동하도록 시공 품질을 관리하여 장기간 안정적인 장비 설치 환경을 조성합니다.